真空机组是由多台真空泵及附件组成的成套真空获得设备。机组中一般有粗抽泵(预抽泵)、前级泵、主抽泵和维持泵。

粗抽泵从大气压开始降低系统压力，一直运行到另一抽气泵可以开始工作。前级泵是用来维持另一个真空泵的前级压力在临界前级压力以下的真空泵，前级泵也可以作为粗抽泵用。有些真空泵对前级压力有要求，必须配前级泵，以维持其前级压力低于要求值。有些泵不能从大气压力开始工作，必须配粗抽泵，达到预真空要求才能开始工作。如普通罗茨泵、分子泵、扩散泵、离子泵等真空泵，都需要配置粗抽泵和前级泵才能正常工作。

主抽泵(主泵)是机组中抽速大、真空度高的真空泵，是真空机组获得高真空度的真空泵。对于主泵来说，其他泵都可以算作其前级泵。

真空机组中有时气体量很小，不能有效利用主泵的大抽速，为此配置抽速较小的辅助前级泵维持主泵正常工作或维持已抽容器的工作真空，这种泵称为维持泵。维持泵的使用主要是从经济环保的角度考虑的。

真空机组各组成泵之间取长补短、相互配合，在抽速和极限真空上都比单个的真空泵有很大提高。根据需要还可以启动不同的泵或组合，从而能够满足多种要求。

从使用方便、安全角度出发，真空机组一般都配有真空阀门、充气阀、波纹管、机架、冷却水管路、断水保护、真空继电器、电器控制设备等。

常用的真空机组有：罗茨水环真空机组，罗茨旋片真空机组，罗茨螺杆真空机组等。

罗茨螺杆真空机组是由罗茨泵作为机械增压泵与初级泵串联而成。罗茨泵是一种外压缩、双转子容积式真空泵，转子与转子、转子与泵腔壁无接触，故可实现高速运转，且不必润滑，以实现无油抽气过程。螺杆泵属于内压缩、容积式真空泵，工作时分为吸气、压缩、排气三个过程。

罗茨螺杆真空机组具有以下优势：

1.结构简单，占地面积小。

2.耗水少，无需水处理设施。

3.无高压蒸汽以及锅炉系统等危险源。

4.从大气压到工艺真空，性能曲线平滑、连续可控，且在67Pa附近抽速稳定。

5.运行成本较低，节能*。

罗茨螺杆真空机组适合于医药，化工，电子等行业中需求环保，清洁的应用工艺。