罗茨螺杆真空机组是由多台真空泵及附件组成的成套真空获得设备。机组中一般有粗抽泵(预抽泵)、前级泵、主抽泵和维持泵。

粗抽泵从大气压开始降低系统压力，一直运行到另一抽气泵可以开始工作。前级泵是用来维持另一个真空泵的前级压力在临界前级压力以下的真空泵，前级泵也可以作为粗抽泵用。有些真空泵对前级压力有要求，必须配前级泵，以维持其前级压力低于要求值。有些泵不能从大气压力开始工作，必须配粗抽泵，达到预真空要求才能开始工作。如普通罗茨泵、分子泵、扩散泵、离子泵等真空泵，都需要配置粗抽泵和前级泵才能正常工作。

螺杆罗茨机组的特点：

一、环境评比过关。采用干式螺杆真空泵，回收物料纯度高，且可100%回收无污染，后期不用做污水处理;

二、节约能耗。相比节能40%以上，节水90%以上;

三、真空度高。水环罗茨机组极限真空为200Pa而螺杆罗茨机组极限真空可达1Pa，极大的缩短反应时间;

四、极大的提高产品质量和纯度。产品含水量可由原来的0.4%降低到现在的0.0012%;

五、适应环境能力强。由于夏天水温高水环泵无法达到罗茨泵所需求的预真空，导致水环罗茨机组无法启动，而螺杆罗茨机组完全可避免这一情况;

六、使用寿命长。气体接触部位都具有聚四氟乙烯、镍和哈氏合金涂层，提高了泵的耐腐蚀和耐磨度;

七、低噪音，低振动。螺杆真空泵的两个转子经过严格的动平衡矫正，并且两个转子之间也留下了合理的间隙，因此泵工作时转子不会相摩擦，运转平稳，噪音低;

八、故障率低，维修简单。设计结构简单，不采用机械密封，不会因污染而频繁发生故障，易保养维修。