螺杆真空泵是一种利用一对螺杆在泵壳内同步反向旋转的吸排气设备，是油封真空泵的更新产品，能抽出含有大量水蒸气和少量灰尘的气体，广泛应用于国内对洁净真空要求较高的制药、化工、半导体企业。

螺杆真空泵的用途：两个螺杆经过精密动平衡校准，由轴承支撑，安装在泵壳内，螺丝之间有一定的间隙。因此泵工作时，它们之间没有摩擦，运转平稳、噪音低，工作腔内不需要润滑油。因此，干式螺杆泵可以抽出含有大量水蒸气和少量粉尘的气体，具有极限真空更高、功耗更低、节能、免维护等优点，是油封真空泵的升级版。

螺杆真空泵的结构：传动轴与主动转子连接，同步齿轮带动从动转子转动。壳体设有冷却水通道，以冷却转子和排气口的温度。同步齿轮和轴承用油润滑，轴承和机壳用密封件密封，达到无油效果。干式螺杆真空泵在密封和润滑方面类似于无油螺杆压缩机。真空泵的排气端一般采用机械密封，进气端一般采用双唇密封。传动方式上，一般采用直联式电机，通过联轴器与转子连接，很少采用皮带或传动链驱动。由于等螺距螺杆泵没有内部压缩过程，所以排气温度很高。如果冷却效果不好，会导致转子和机壳变形，影响泵送效果。冷却机壳是必不可少的环节，水冷是常用的方法。冷却水可以被引入到壳体和轴承的外部，以冷却壳体，然后冷却转子。

各种真空泵的发展越来越受到真空应用的影响，一般的真空系统无法满足清洁、无油、耐腐蚀的要求。因此，近年来干式真空泵的市场需求非常大，真空产品更新换代，大量无油真空系统被无油清洁真空系统所取代，国外几乎每个大型真空公司都生产各种类型的干式真空泵。螺杆真空泵是一种非接触式干式泵，是90年代初出现的一种理想的泵型。由于其泵送速度范围宽、结构简单紧凑、泵送腔部件无摩擦、使用寿命长、能耗低、无油污等优点而得到广泛应用。

干式螺杆真空泵因其优越的性能，已成为欧美和日本微电子、半导体、制药、精密加工等行业的优选真空获得设备。日本在螺杆式压缩机的基础上，很早就开发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司已经逐步开发出定距和变距的转子型线，并在转子和机体冷却方面做了大量的研究。我国也将螺杆真空泵的生产投入批量生产，并在化工、医药行业得到了很好的应用。