滑阀真空泵(简称滑阀泵)同旋片泵一样,也是一种变容式气体传输泵,但是滑阀真空泵和2X旋片真空泵相比,耐用高出好几倍。其和范围和使用条件与旋片泵基本相同。罗茨滑阀真空机组具有显著的节能效果,真空度高,高真空区间抽气量大,可广泛应用于电力工业的变压器、电线电缆、电容器的真空浸渍、真空干燥工艺中。是真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空滤油、冷冻干燥;航空模拟试验较理想的真空设备。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉尘的气体,应加装过滤装置。
滑阀泵由于其结构特点,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空设备上。滑阀泵有单级和双级两种型式。单级泵的极限压力对小泵≤0.6Pa,对大泵≤1.3Pa(均关气镇),双级泵的极限压力≤0.06Pa(关气镇)。双极2H滑阀真空泵*大抽速为300L/S。由于滑阀泵的旋转质量有较大的偏心,如果滑阀没有很好的质量平衡,在运转时会产生较大的振动。但泵旋转质心的运动轨迹是形状复杂的封闭曲线,因此小厂很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。可以通过动平衡测试和双缸或三缸结构做好滑阀的质量平衡。
滑阀式真空泵的抽气原理与旋片泵相似,但两者结构不同。滑阀式真空泵是利用滑阀机构来改变吸气腔容积的,故称滑阀泵。滑阀泵虽然是一种老泵,但与旋片泵等比较,它具有允许工作压力高、抽气量大、能在较恶劣环境下连续工作,经久耐用等突出优点,所以在真空冶炼、真空干燥、真空浸渍、真空蒸馏等行业得到广泛的应用。
目前真空行业中广泛使用的油封式真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑阀泵。旋片泵在较脏的工作条件下,旋片泵在转子槽中卡住。尽管滑阀泵对这一缺点有一定程度的克服,但由于滑阀的质心相对回转中心的距离不是定值,虽然在结构上采取了一些动平衡措施,但尚不能达到完全平衡,故振动难以完全消除。尤其泵的容量越大,振动亦更大。同时上述两种泵,特别是滑阀泵与其排气量相比外形尺寸显得较大。