无油干式真空泵与油式机械泵的比较说明

2021-10-18 08:51:46

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无油干式真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

无油干式真空泵与油式机械泵的比较说明

无油干式真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

今天中发科泵业小编来讲讲无油干式真空泵与油式机械泵(旋片泵、滑阀泵)的比较说明

与油式机械泵(旋片泵、滑阀泵)比较：

1.旋片及滑阀泵极限真空高，一般能达到在0.1Pa,如果工艺极限真空要求较高，可以用干式螺杆真空泵串联一级罗茨泵达到此真空。

2.油式机械泵不能抽含有水汽大及有腐蚀性的介质，否则油容易乳化变质影响真空及寿命。

3.油式机械泵不能抽含粉尘介质，否则会造成泵磨损。由于机械泵属于有摩擦运行，及时抽吸干净气体介质，在运行多年后，各方面配合间隙加大，极限真空会有下降。

4.油式泵的噪音，油烟的排放，真空油的消耗越来不符合环保节能要求。

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