干式螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用的一种真空抽气设备。干式螺杆真空泵工作原理是：利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触左螺杆与右螺杆做高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋桨螺旋槽分割成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内进行传输运动，但无压缩，只有螺杆*末端的螺旋结构对气体有压缩作用，*终形成真空。

一、干式螺杆真空泵的优点

干式螺杆真空泵在工作时，相互之间无磨擦，运转相对平稳，噪音比较低，工作腔不需润滑油，因此，干式螺杆真空泵工作能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空度更高，消耗功率比较低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的升级版产品。

二、干式螺杆真空泵的工作原理

干式螺杆真空泵工作原理主要是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋桨螺旋槽分割成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内进行传输运动，无压缩，只有螺杆*末端的螺旋结构才对气体有压缩的作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比，各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境等。干式螺杆真空泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。

三、螺杆真空泵结构图原理

螺杆泵的组成是立式结构，进气口在上方，排气口在中部，下部为电机和润滑油池。螺杆转子呈中空形，为悬臂支承结构。同步传动齿轮位于轴承支座下面。变频电机通过联轴节与主动转子连接，该泵的气体路径较短，且立式结构对排除含微尘气体较为有利。泵外壳有水冷却，泵维修也便利。

干式螺杆真空泵选用适当的较简单螺杆牙型截面，那么它的优势是则制造简单，可保证很高的加工精度，且容易动平衡。根据其工作原理，我们可以可以明确地认识到，干式螺杆真空泵是一种极限真空度高、消耗功率比较低、节能、免维修等优点。